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工业气体和混合气体对配置装置的要求

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工业气体和混合气体对配置装置的要求

发布日期:2018-07-03 作者:ag线上开户 点击:

烟台工业气体同其他标准气体制备不同的是,配制电子混合气体的装置似乎更为复杂,电子混合气体配气装置所用的管路必须是EP( 电解研磨) 级别,材质为316L,精密压力表或压力传感器精度优于0. 25 级,材质316L。为确保配制装置不产生污染使用前要求系统:正压试验1. 5 倍工作压力,持压30 min; 真空氦检漏: ≤10 - 9 atm. cc /s; 系统水分: ≤ - 80 ℃; 微量氧: ≤10 × 10 - 9 ; 颗粒物测定: ≤1 EA/ft3 at 0. 1μm;≤5 EA/ft3 at 0. 05μm。为了防止产生颗粒物,装置应配有耐高压、耐腐蚀过滤器,如PALL 产0. 003 μm 不锈钢烧结或PTFE(聚四氟乙烯) 滤芯,并不定期对气体过滤器的过滤效果进行评价和测量,当过滤效果下降,应立即更换滤芯或过滤器。

工业气体

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关键词:工业气体,烟台工业气体,工业气体厂家

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